← Danh mục 100 · Sản Xuất Công Nghiệp, Vật Liệu & Bán Dẫn · Hình tương tác #031

Quang Khắc Siêu Cực Tím EUV Sản Xuất Chip Bán Dẫn Tiến Trình 2nm

Cỗ máy phức tạp nhất nhân loại bắn laser kép vào 50.000 giọt thiếc rơi mỗi giây tạo tia cực tím 13.5nm, phản xạ qua gương siêu phẳng khắc hàng chục tỷ transistor.

Hình 31 · sơ đồ 6 trạm & 8 điểm chọn Buồng Cơ Khí & Quang Học Cắt Lớp

Chọn kịch bản · kéo thanh · chạy mô phỏng · tháo rời
Số nhỏ trên trạm = thứ tự vận hành. Màu xám = tạm bỏ qua. Xem hình lớn ↗
4 chế độ đối chứng
Đường đi đang kích hoạt · theo số trạm
42 mJ/cm²
Khoảng tối ưu: 36 đến 48 mJ/cm². Kéo ra ngoài ngưỡng để quan sát biến đổi.
3,0 mPa
Khoảng tối ưu: 1,0 đến 5,0 mPa. Kéo ra ngoài ngưỡng để quan sát biến đổi.
1,1 nm
Khoảng tối ưu: 0,8 đến 1,4 nm. Kéo ra ngoài ngưỡng để quan sát biến đổi.
Tỷ lệ chip đạt chuẩn (Wafer Yield)
87,5%
Độ nhám mép mạch (LER)
1,1nm
Năng suất quét tấm Wafer
175WPH
Bấm vào trạm trên hình hoặc nút số bên dưới để đọc vai trò từng bộ phận.